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    文章导读:2019年12月22日,昆山91视频下载地址电子科技有限公司(以下简称91视频下载地址电子)自主研发的“一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体”收到了国家知识产权局颁发的实用新型专li证书。这一专li是对半导体晶圆清洗领域所用真空91视频观看污下载设备真空腔体结构的优化,是新时代下91视频观看污下载机设备适应半导体行业要求的一次成功尝试。
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